Dünne Schichten werden mit physikalischen und che-
mischen Verfahren unter Vakuumbedingungen erzeugt.
Dazu werden geeignete Anlagen benötigt.
Der Schreibende konnte aufgrund experimenteller und
theoretischer Studien über Dünne Schichten bei der
Firma W.C. Heraeus GmbH in Hanau während des
Krieges eine Abteilung zur industriellen Herstellung von
Oberflächen- und Teildurchlässigen Spiegeln, der
ersten Fabrik für diesen Zweck, aufbauen. In ihr konn-
ten auch meine Mitarbeiter Dr. A. Ross und Dr. O.
Winkler Erfahrungen in der Verfahrenstechnik und den
apparativen Einrichtungen zur Vakuumerzeugung sam-
meln.
Bei der Gründung der Balzers AG 1946 konnten weder
aus der Schweiz noch aus anderen Ländern benötigte
und geeignete Bauteile bezogen werden. Deshalb
waren in möglichst kurzer Zeit Pumpen, Ventile und
Messinstrumente selbst zu entwickeln und herzustel-
len. Damit entstand über die ursprüngliche Planung
hinaus für die Firma ein weiterer physikalischer Zweig,
die Vakuumtechnik.
Dünne Schichten werden in grosser Vielfalt bei der
Balzers AG gefertigt. Schon kurz nach der Gründung
konnten bahnbrechende Entwicklungen erzielt werden.
Die Feinstteilungen, wie sie heute in der Welt benützt
werden, entstanden in Balzers ebenso, wie die ersten
aufgedampften Phasenkontrastringe für die Mikrosko-
pie. Mit immer neuen Ideen und ihrer Realisierung
wurden eine Fülle industrieller und auch wissenschaft-
licher Anwendungen ermöglicht. Beispiele dafür sind
hochwertige Reflexionsverminderungen an optischen
Linsen, Kaltlichtspiegel, die nur sichtbares Licht reflek-
tieren und für langwellige Wärmestrahlung durchlässig
sind, Wärme- und Spektralfilter, Lichtteiler, Schichten,
die für die Herstellung miniaturisierter Schaltungen
benötigt werden und verschleissfeste Uberzüge auf
mechanischen Werkzeugen.
Dies war mit neuen Verfahrensschritten, z.B. der Gas-
dosierung, die in der Firma entwickelt wurden, möglich.
Sie führten zu einem Durchbruch für die Herstellung
neuer Schichtsysteme.
Die ersten selbstgebauten Vakuumanlagen wurden
noch mit mechanischen, meist handbetätigten Einrich-
tungen, gebaut. Der Einsatz von elektronischen Mitteln
führt bei den neuen Anlagen zu komplexen Maschinen,
die mit Sensoren eine schon weitgehende Automatisie-
rung ermöglichen. Dadurch ist eine Reduktion der Aus-
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